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单晶硅研磨过程的声发射在线监测研究 期刊论文
传感技术学报, 2016, 期号: 4, 页码: 606-613
作者:  崔涛
caj(2239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:213/76  |  提交时间:2017/09/17
研磨  声发射  在线监测  单晶硅  材料去除率  
声检测仪的前置放大器设计 期刊论文
光学机械, 1988, 期号: 04, 页码: 76-79
作者:  李国志
caj(114Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/85  |  提交时间:2013/03/11
检测仪:5052  声发射检测:4637  前置放大器:4549  声发射仪:3598  指标测定:2511  放大器设计:1851  低噪声:1749  高灵敏:1501  半导体器件:1471  减少噪声:1449