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单晶硅研磨过程的声发射在线监测研究 期刊论文
传感技术学报, 2016, 期号: 4, 页码: 606-613
作者:  崔涛
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研磨  声发射  在线监测  单晶硅  材料去除率  
磁流变抛光液的研制 期刊论文
功能材料, 2002, 期号: 05, 页码: 490-491+494
作者:  张峰;  潘守甫;  张学军;  张忠玉;  郑立功;  程灏波;  牛海燕
caj(47Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:456/79  |  提交时间:2013/03/11
磁流变抛光  磁流变抛光液  剪切应力  抛光区  材料去除率