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亚波长角向偏振金属光栅设计方法与制造技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  朱春霖
caj(7565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2020/08/24
亚波长角向偏振金属光栅  粒子群最优化算法  分步优化设计  电沉积在线监测  超声辅助电沉积  
单晶硅研磨过程的声发射在线监测研究 期刊论文
传感技术学报, 2016, 期号: 4, 页码: 606-613
作者:  崔涛
caj(2239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：213/76  |  提交时间：2017/09/17
研磨  声发射  在线监测  单晶硅  材料去除率