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电磁型平面微电机及其制作工艺 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 120-124
作者:  郭占社;  吴一辉;  宣明;  王淑荣
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平面微电机  Liga工艺  
双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:  梁静秋;  郭占社;  吴一辉;  王淑荣;  张平;  宣明
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/83  |  提交时间：2013/03/11
双转子  平面微电机  定子  孔引线  准liga技术