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MEMS和微流体分析系统的发展 期刊论文
光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：428/88  |  提交时间：2013/03/11
Mems技术:6304  微型全分析系统:4765  微流体:4334  压力传感器:2159  分析仪器:1871  加速度计:1775  流体分析:1530  微制造技术:1371  微小化:1291  仪器仪表:1244  
衍射光栅制造技术的发展 期刊论文
长春理工大学学报, 2003, 期号: 01, 页码: 66-68
作者:  李燕青;  郝德阜
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衍射光栅  制造技术  发展趋势  
大口径离轴非球面制造技术——研磨、抛光技术 期刊论文
光机电信息, 2003, 期号: 02, 页码: 19-23
作者:  程灏波
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/97  |  提交时间：2013/03/11
非球面:6662  抛光技术:4489  先进光学制造技术:2841  大口径:2661  离子束:2541  光学加工:2315  计算机控制:2076  研磨:1340  加工中心:1113  面形误差:1062  
微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(1127Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/59  |  提交时间：2013/03/11
微型光谱仪  微机电系统  微光学  微制造技术