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表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 01, 页码: 45-49
作者:  徐长山;  巩岩;  向阳;  陈波;  曹健林
caj(45Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/59  |  提交时间：2013/03/11
光洁度测量  超光滑表面  传递函数  线性系统