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软X射线接触式显微术研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
caj(95Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/53  |  提交时间：2013/03/11
软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件  曝光量