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压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制 期刊论文
仪器仪表学报, 1999, 期号: 01, 页码: 92-93+108
作者:  吴一辉;  杨宜民
caj(56Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/58  |  提交时间：2013/03/12
压电定位  电荷控制  谐波线性化