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18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究 期刊论文
真空科学与技术, 1997, 期号: 01, 页码: 12-18
作者:  王占山;  马月英;  张俊平;  吕俊霞;  李哲;  曹健林
caj(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/49  |  提交时间：2013/03/11
滤光片  显微成像系统  软x射线