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MEMS和微流体分析系统的发展 期刊论文
光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31
作者:  鞠挥;  吴一辉
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Mems技术:6304  微型全分析系统:4765  微流体:4334  压力传感器:2159  分析仪器:1871  加速度计:1775  流体分析:1530  微制造技术:1371  微小化:1291  仪器仪表:1244  
微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者:  梁静秋
caj(1887Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/66  |  提交时间：2013/03/11
微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962