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8．0nm附近Mo／B4C软X射线多层膜初步研究 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 37-41
作者:  吕俊霞;  曹健林
caj(0Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/29  |  提交时间：2013/03/12
软x射线  Mo／b4c多层膜  磁控溅射