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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/157  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
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