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157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 期刊论文
材料导报, 2003, 期号: 06, 页码: 34-36
作者:  臧春雨;  曹望和;  石春山
caj(186Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：412/76  |  提交时间：2013/03/11
半导体制造业  157nm紫外光刻技术  Caf_2晶体  双折射  
KMgF_3晶体的生长研究 期刊论文
人工晶体学报, 2003, 期号: 02, 页码: 96-98
作者:  臧春雨;  曹望和;  石春山
caj(24Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/54  |  提交时间：2013/03/11
Kmgf3晶体  Bridgman方法  氧含量