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同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 03, 页码: 24-28
作者:  薛松;  邵景鸿;  徐正良;  孙剑辉
caj(148Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/71  |  提交时间：2013/03/11
同步辐射软x射线:4740  多层膜反射率计:4731  多层膜反射镜:4292  分光反射率:3666  单色器:3268  测试装置:2500  Bepc:1414  同步光:1338  出射狭缝:1147  色散元件:1109  
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21
作者:  邵景鸿;  徐正良
caj(934Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/66  |  提交时间：2013/03/11
X射线光刻  光束线  真空  扫描  铍窗