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Research of monolithic XY micro-adjustment mechanism based on compliance matrix 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/中文 Journal of Scientific Instrument, 2014, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  Zhang D.;  Zhao L.
caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/60  |  提交时间：2015/04/24