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Phase analysis in computer-generated hologram induced by direct laser writing systems with orthogonality error 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 10
作者:  Zheng, L.;  T. Hao;  C. Guo;  R. Wang and Z. Zhang
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Foundation and application of model for multilayers analysis in extreme ultra-violet lithography projection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者:  Wang J.;  Jin C.;  Wang L.;  Guo B.;  Yu B.
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：271/79  |  提交时间：2015/04/24