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菲索型球面干涉仪测试精度分析 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1988, 期号: 02, 页码: 74-80
作者:  杨志文
收藏  |  浏览/下载：278/0  |  提交时间：2013/03/12
面形误差  曲率半径  测试精度