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磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 62-65
作者:  宋文荣;  于国飞;  何惠阳
caj(38Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/58  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  进给机构  直线电机  Pid控制  仿真  
六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  田兴志
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/46  |  提交时间：2013/03/11
光刻  磁悬浮  X-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦