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KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 1998, 期号: 02, 页码: 55-59
作者:  沈蓓军;  王润文;  路敦武;  王立鼎;  梁静秋;  姚劲松
caj(26Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/51  |  提交时间：2013/03/11
激光光刻  微细加工  Liga工艺