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大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 1112-7
作者:  田兴志
caj(1039Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/50  |  提交时间：2012/09/25