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电磁型平面微电机及其制作工艺 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 120-124
作者:  郭占社;  吴一辉;  宣明;  王淑荣
caj(62Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/70  |  提交时间：2013/03/11
平面微电机  Liga工艺