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高精度瑞奇-康芒检测法研究及测试距离精度影响分析 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 121-128
作者:  朱硕;  张晓辉
caj(528Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:370/128  |  提交时间:2015/04/17
测量  瑞奇-康芒  精度分析  平面镜  面形误差  测试距离