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振动对面形测量误差的影响分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：624/162  |  提交时间：2013/03/11
测量  干涉测量  误差分析  振动  面形误差