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高g_n值微加速度开关设计 期刊论文
传感器与微系统, 2009, 期号: 5
作者:  杨会玲;  杨会伟;  王军
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/79  |  提交时间：2012/09/25
微机电系统  微引信  微加速度开关