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Growth of high quality ZnO thin films at low temperature on Si(100) substrates by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology a-Vacuum Surfaces and Films, 2002, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 265-269
作者:  Li B. S.;  Liu Y. C.;  Shen D. Z.;  Lu Y. M.;  Zhang J. Y.;  Kong X. G.;  Fan X. W.;  Zhi Z. Z.
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Growth of stoichiometric (002) ZnO thin films on Si (001) substrate by using plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology a-Vacuum Surfaces and Films, 2002, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 1779-1783
作者:  Li B. S.;  Liu Y. C.;  Zhi Z. Z.;  Shen D. Z.;  Zhang J. Y.;  Lu Y. M.;  Fan X. W.;  Kong X. G.
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