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High performance Czerny-Turner imaging spectrometer with aberrations corrected by tilted lenses 期刊论文
Optics Communications, 2014, 期号: 338, 页码: 73-76
作者:  Zhong X.;  Zhang Y.;  Jin G.
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A model for multilayer analysis in a coated extreme ultra-violet lithography projection system 期刊论文
Optics Communications, 2014, 期号: 332, 页码: 339-342
作者:  Wang J.;  Jin C. S.;  Wang L. P.;  Xie Y.
Adobe PDF(542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：225/50  |  提交时间：2015/04/24