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多通道微流控芯片的光探测及系统集成化方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  周文超
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TMT三镜系统Tilt Mechanism组件技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵宏超
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空气静压丝杠的发展与高刚性化 期刊论文
光机电信息, 2001, 期号: 12, 页码: 36-39
作者:  董吉洪
caj(645Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:419/68  |  提交时间:2013/03/11
丝杠:5800  轴向刚度:4773  多孔质材料:3477  空气静压导轨:2869  结构参数:2325  高刚性:2175  运动精度:1982  小孔节流:1955  加工精度:1902  典型结构:1316