中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 60-64
作者:  梁静秋;  乐孜纯
caj(848Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/64  |  提交时间：2013/03/11
X射线组合透镜  三维聚焦性能  Pmma透镜  软x射线光刻  
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 期刊论文
光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加;  慎微;  杜涌兴
caj(247Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/83  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  近贴式  光刻胶  光刻术  
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21
作者:  邵景鸿;  徐正良
caj(934Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/66  |  提交时间：2013/03/11
X射线光刻  光束线  真空  扫描  铍窗