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Novel support for 1.2 m Zerodur primary mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 10
作者:  Shao, L.;  Y.-Z. Zhao;  M. Ming;  T.-Y. Lu;  C.-H. Liu and H.-H. Wang
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压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 04, 页码: 64-68
作者:  荆涛
caj(177Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:320/42  |  提交时间:2013/03/11
误差补偿  压电陶瓷  微量位移