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一种便携式中心遮拦结构杂散光检测装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210488298.6, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  张红鑫 孙明哲 卜和阳 卢振武
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一种非球面变焦距光刻物镜系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279812.5, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  刘伟奇;  吕博;  冯睿;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  姜珊
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哈特曼波前探测器与入射光束的孔径对准方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210264033.8, 申请日期: 2014-05-28, 公开日期: 2014-05-28
发明人:  宣 丽;  穆全全;  曹召良;  胡立发;  彭增辉;  李大禹;  刘永刚;  夏明亮;  姚丽双;  杨程亮;  鲁兴海
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