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用于超高真空中实现转角精密传动的装置及其控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  彭忠琦;  卢启鹏;  金春水
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