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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
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Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
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Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  X. Mi;  S. Jiang;  H. Yu;  X. Li and L. Yin
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Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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光栅机械刻划摩擦型颤振机理 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 11, 页码: 3061-3066
作者:  石广丰;  吕杨杨;  史国权;  吉日嘎兰图;  肖为
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光栅  机械刻划  摩擦型颤振  稳定性分析  
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  杨超;  于海利;  冯树龙;  李晓天;  齐向东;  姜珊;  唐玉国
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刻划刀架  刻划光栅  刻线弯曲  刻线位置误差  光栅光谱  
基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  李晓天;  齐向东;  于海利;  高键翔;  冯树龙;  巴音贺希格
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平面光栅  光栅刻线  摆角修正  衍射波前  压电执行器  
Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Yu H.-L.;  Gao J.-X.;  Feng S.-L.;  Bayanheshig
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