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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
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浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:  匡尚奇;  张超;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
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光学多层膜  膜系设计  量子遗传算法  宽带极紫外多层膜  离散化设计  
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
caj(4243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/0  |  提交时间：2019/09/23
光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命  
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Polarization Performance in Space Ultraviolet Remote Sensing Spectral Instruments 期刊论文
Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 1
作者:  Li Hanshuang, 李寒霜;  Li Bo, 李博;  Wang Shurong, 王淑荣
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Remote sensing  Analytic equipment  Angle measurement  Diffusers (optical)  Electric lamps  Light polarization  Measurement  Optical systems  Space optics  Synchrotron radiation  Synchrotrons  Ultraviolet spectrometers  
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Zhang, Chao;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Quantum theory  Fabrication  Genetic algorithms  Magnetron sputtering  Multilayers  Reflection  
空间紫外遥感光谱仪器偏振特性研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 01, 页码: 193-197
作者:  李寒霜;  李博;  王淑荣
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测量  空间紫外遥感  偏振响应  漫透射板  同步辐射  
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:  Chen, Jian;  Gao, Hui-Bin
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Laser damage  Carbon dioxide  Carbon dioxide lasers  Damage detection  Thin films  
348.9 nm Intra-Cavity Frequency-Doubling Ultraviolet Laser in Blue Laser Diode Pumped Pr:YLF Crystal 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 12
作者:  Niu, Na;  Qu, Dapeng;  Dou, Wei;  Ren, Guangsheng;  Zhou, Yang;  Xia, Lei;  Lu, Minhang;  Zheng, Quan
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Laser mirrors  Crystal structure  Diodes  Frequency doublers  Lasers  Phase matching  Pumping (laser)  Semiconductor doping  Ultraviolet lasers  YLF lasers