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激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 03, 页码: 313-319
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加
caj(961Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：459/76  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  激光等离子体  光刻术  光刻胶