中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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文献类型

期刊论文 [2]

发表日期

2017 [2]

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CIOMP OpenIR

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	Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5 作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi 浏览 \| Adobe PDF(528Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：325/101 \| 提交时间：2018/06/13
	Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3 作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao 浏览 \| Adobe PDF(284Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：368/114 \| 提交时间：2018/06/13

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