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Improved metal assisted chemical etching method for uniform, vertical and deep silicon structure 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 卷号: 27, 期号: 5
作者:  Miao, B.;  J. Zhang;  X. Z. Ding;  D. M. Wu;  Y. H. Wu;  W. H. Lu and J. D. Li
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Temperature insensitive mass sensing of mode selected phononic crystal cavity 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 8
作者:  Li, P.;  F. Li;  Y. S. Liu;  F. F. Shu;  J. F. Wu and Y. H. Wu
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Polymeric microlens array fabricated with PDMS mold-based hot embossing 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2014, 卷号: 24, 期号: 9, 页码: 8
作者:  Liu Y. S.;  Zhang P.;  Deng Y. B.;  Hao P.;  Fan J. H.;  Chi M. B.;  Wu Y. H.
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Faithful replication of grating patterns in polymer through electrohydrodynamic instabilities 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2014, 卷号: 24, 期号: 7, 页码: 9
作者:  Li H.;  Yu W.;  Wang T.;  Zhang H.;  Cao Y.;  Abraham E.;  Desmulliez M. P. Y.
浏览  |  Adobe PDF(3054Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/45  |  提交时间：2015/04/24
Experimental investigation of passive micromixers conceptual design using the layout optimization method 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 期号: 23
作者:  Liu Y.;  Deng Y.;  Zhang P.;  Liu Z.;  Wu Y.
Adobe PDF(2476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/80  |  提交时间：2014/05/14