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Research of NSMDOB-Based Compound Control for Photoelectric Tracking Platform 期刊论文
Ieee Access, 2020, 卷号: 8, 页码: 62650-62659
作者:  Y. Ren,D. P. Tian and D. H. Yu
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Combined Feedforward Control and Disturbance Rejection Control Design for a Wafer Stage: A Data-Driven Approach Based on Iterative Parameter Tuning 期刊论文
Ieee Access, 2020, 卷号: 8, 页码: 181224-181232
作者:  M. S. Cao,Y. M. Bo and H. B. Gao
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