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微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(1127Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/59  |  提交时间：2013/03/11
微型光谱仪  微机电系统  微光学  微制造技术