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基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制 期刊论文
制造业自动化, 2016, 期号: 4, 页码: 140-142
作者:  陈昊;  陈琦
caj(301Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/96  |  提交时间：2017/09/17
直线光栅尺  摩擦驱动  精密定位  Pid控制