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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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2016 [2]
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出处:光学精密工程
发表日期:2016
语种:中文
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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:
刘兆武
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李文昊
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王敬开
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姜珊
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宋莹
;
潘明忠
;
巴音贺希格
caj(466Kb)
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提交时间:2017/09/17
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
大行程纳米级定位工作台的结构设计
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:
陈琦
caj(653Kb)
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浏览/下载:353/109
  |  
提交时间:2017/09/17
扫描干涉光刻系统
高精度工作台
气体静压导轨
摩擦驱动
纳米级定位