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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [5]
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期刊论文 [5]
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2013 [5]
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中文 [5]
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光学精密工程 [5]
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出处:光学精密工程
发表日期:2013
语种:中文
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曲率半径的高精度测量及其不确定度
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2495-2501
作者:
田志辉
;
史振广
;
刘伟奇
;
杨怀江
;
隋永新
caj(392Kb)
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提交时间:2014/03/07
光学元件
曲率半径测量
不确定度分析
计算全息
波长移相
数字横向剪切干涉仪相移技术
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
作者:
何煦
;
向阳
caj(1178Kb)
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浏览/下载:471/130
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提交时间:2014/03/07
光学测量
波像差
相移式干涉仪
剪切干涉仪
柔性铰链
用计算全息图校正非球面的畸变
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1929-1935
作者:
高松涛
;
王高文
;
张健
;
隋永新
;
杨怀江
caj(609Kb)
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浏览/下载:445/165
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提交时间:2014/03/07
非球面检测
畸变校正
干涉仪
计算全息图
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:
高飒飒
;
卢启鹏
;
彭忠琦
;
龚学鹏
caj(821Kb)
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浏览/下载:493/139
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提交时间:2014/03/07
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
137单元变形镜的性能测试及校正能力实验
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 267-273
作者:
林旭东
;
刘欣悦
;
王建立
;
王富国
;
卫沛锋
caj(1361Kb)
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提交时间:2014/03/07
自适应光学
变形镜
性能测试
校正能力
动态响应