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激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 03, 页码: 313-319
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加
caj(961Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：446/75  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  激光等离子体  光刻术  光刻胶  
最低成本的光学公差优化法探讨 期刊论文
光学学报, 1986, 期号: 09, 页码: 854-858
作者:  唐九华;  于维洲
caj(163Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/79  |  提交时间：2013/03/11
光学公差:7390  优化法:4301  最低成本:4095  光学系统:1543  结构参数:1377  加工成本:1220  名义尺寸:1123  评价函数:1101  约束条件:977  目标函数:951  
关于提高仪器总体设计水平的问题 期刊论文
光学学报, 1981, 期号: 01, 页码: 67-74
作者:  唐九华
caj(410Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/80  |  提交时间：2013/03/11
光谱仪器:5773  总体设计:4846  总性能:4155  信息速率:2370  接收器:2247  光学系统:2012  运用研究:1862  底片:1753  信息源:1570  起始数据:1476