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双步激光辐射提升纳秒激光抛光单晶硅的表面 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 07, 页码: 220-227
作者:  任英明;  张志宇
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长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112001-1
作者:  巩岩
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浮法抛光亚纳米级光滑表面 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 06, 页码: 824-825
作者:  高宏刚;  曹健林;  陈星旦
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超光滑表面  亚纳米  浮法抛光