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| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 302-310 作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊 caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:378/92  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283 作者: 贾树强; 黄玮; 徐象如; 姚长呈 caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:357/132  |  提交时间:2017/09/17 光学器件 表面变形 面形补偿 预紧力 有限元方法 |
| 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:305/148  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散 |
| 多光谱消色差成像流式细胞仪的光学系统设计 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 9, 页码: 257-266 作者: 李灿; 郭帮辉; 孙竹 caj(1715Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:524/113  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 成像流式细胞仪 宽波段 |
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143 作者: 王君; 王丽萍; 金春水; 苗亮; 谢耀 caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:414/122  |  提交时间:2016/07/06 光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 |
| 便携式调制传递函数测试仪的研制 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-101 作者: 袁理; 张晓辉; 刘振江; 韩冰; 聂真威 caj(1089Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:598/123  |  提交时间:2016/07/06 成像系统 调制传递函数测试仪 图像处理 可见光镜头 |
| 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118 作者: 徐象如; 黄玮; 贾树强; 徐明飞 caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:355/103  |  提交时间:2016/07/06 成像系统 投影光刻物镜 热像差 元件位移 分区加热 |
| 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284 作者: 赵阳; 王平; 史振广; 谷勇强; 刘春来; 门树东 caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:311/114  |  提交时间:2016/07/06 几何光学 三叶像差 面形精修 条纹泽尼克多项式 |
| 轻小型可见/近红外实时成像光谱仪的光学系统设计 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 06, 页码: 329-336 作者: 刘兵; 刘英; 李灿; 王健; 李淳; 孙强 caj(1480Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:383/121  |  提交时间:2016/07/06 光谱学 可见/近红外 棱镜分光 实时成像光谱仪 |
| 成像光谱仪大孔径前置物镜设计研究 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 02, 页码: 276-283 作者: 于建冬; 梁中翥; 梁静秋; 吕金光; 秦余欣; 田超; 王维彪 caj(1347Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:251/91  |  提交时间:2016/07/06 光学设计 傅里叶变换成像光谱仪 红外系统 片状分束器 |