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绝对式光栅尺细分误差补偿方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 220-225
作者:  乔栋;  续志军;  吴宏圣;  曾琪峰;  刘阳;  孙强
caj(1240Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/116  |  提交时间：2016/07/06
测量  细分误差  傅里叶分析  绝对式光栅尺  叠栅条纹