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极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
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光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
便携式调制传递函数测试仪的研制 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-101
作者:  袁理;  张晓辉;  刘振江;  韩冰;  聂真威
caj(1089Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：598/123  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  调制传递函数测试仪  图像处理  可见光镜头  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
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成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:  赵阳;  王平;  史振广;  谷勇强;  刘春来;  门树东
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几何光学  三叶像差  面形精修  条纹泽尼克多项式  
轻小型可见/近红外实时成像光谱仪的光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 06, 页码: 329-336
作者:  刘兵;  刘英;  李灿;  王健;  李淳;  孙强
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光谱学  可见/近红外  棱镜分光  实时成像光谱仪  
成像光谱仪大孔径前置物镜设计研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 02, 页码: 276-283
作者:  于建冬;  梁中翥;  梁静秋;  吕金光;  秦余欣;  田超;  王维彪
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光学设计  傅里叶变换成像光谱仪  红外系统  片状分束器  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/88  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度