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平行弹簧和PZT组合的钠米结构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: S1, 页码: 227-231
作者:  张海成
caj(156Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/57  |  提交时间：2013/03/11
一体型平行弹簧:9116  结构设计:2125  微动机构:1883  动态特性:1447  位置控制:1398  结构模型:994  驱动部分:985  位移特性:980  转动分量:973  探针扫描:951