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一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: S1, 页码: 388
作者:  张飞虎;  张春河;  王平;  韩荣久
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：488/94  |  提交时间：2013/03/12
微进给:5273  镜面磨削:5245  超精密加工:4725  工作台:2814  超精密磨削:2561  超精密车削:1406  微量进给机构:1343  工程陶瓷:1252  金刚石车刀:1126  位置分辨率:1111