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大口径球面/非球面疵病检测仪结构设计及实验研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  杨荟琦
收藏  |  浏览/下载:181/0  |  提交时间:2017/09/17
疵病检测仪  精密仪器  机械结构设计  运动学模型  精度模型