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光刻投影物镜光学元件运动学支撑结构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2012, 期号: 05, 页码: 476-484
作者:  倪明阳;  巩岩
caj(694Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：478/119  |  提交时间：2013/03/11
光刻  投影物镜  运动学支撑  柔度  面形  
光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析 期刊论文
中国光学, 2012, 期号: 04, 页码: 401-406
作者:  孙振;  巩岩
caj(386Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/93  |  提交时间：2013/03/11
可变光阑  投影物镜  结构设计  有限元分析